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  • 小型高溫蒸鍍儀

    鄭州科探儀器設備有限公司 (v1231253.skxox.com)

    小型高溫蒸鍍儀,鎢舟加熱,或者坩堝加熱,溫度可達1800度,帶樣品臺旋轉功能,使鍍膜更加均勻,

    軟件自動操控、高性價比,非常適合實驗室科研使用。

    通過加熱蒸發某種物質使其沉積在固體表面,稱為熱蒸發鍍膜,熱蒸發鍍膜技術是歷史最悠久的PVD鍍膜技術之一。熱蒸發鍍膜機一般主要用于蒸發Cd、Pb、Ag、Al、Cu、Cr、Au、Ni等材料。

    ★ 專業真空蒸發電源,數顯工作電流和電壓,恒流輸出;

    ★ 可定制一體化高精度刻蝕掩膜板;

    ★ 襯底可選擇加熱或水冷,源基距≥300mm;

    ★ 可調速旋轉靶臺使薄膜更均勻

    ★ 可沉積金屬(Au, Ag, Al, Ca, Cu, Mg, Fe, Cr, Ni等)、非金屬、化合物(MoO3, LiF等)及有機物材料,可拓展沉積單層膜、多層膜及混合膜;

    不同真空度 不同鍍膜時間鍍銅樣品圖

    原樣品沒有鍍膜 115A 100秒 機械泵

    115A 100秒 分子泵抽12分鐘 115A 120秒 分子泵抽20分鐘

    真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色

    小型高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD

    控制方式

    7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

    加熱方式

    數字式功率調整器

    鍍膜功能

    0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

    最大功率

    ≤1200W

    最大輸出電壓電流

    電壓≤12V 電流≤120A

    真空度

    機械泵 ≤5Pa(5分鐘) 分子泵≤10^-3Pa

    擋板類型

    電控

    真空腔室

    石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

    樣品臺

    可旋轉φ62 (最大可安裝φ50基底)

    樣品臺轉速

    8轉/分鐘

    樣品蒸發源調節距離

    70-140mm

    蒸發溫度調節

    ≤1800℃

    支持蒸發坩堝類型

    鎢絲藍 帶坩堝鎢絲藍 鎢舟 碳繩

    預留真空接口

    KF25抽氣口 KF16真空計接口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口

    可選配擴展

    機械真空泵(可抽真空 5分鐘<5Pa)

    數顯真空計(測量范圍大氣壓到0.1Pa)

    分子泵機組(可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa)

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